80 % WTi
1. Målunderhåll
För att undvika kortslutningar och ljusbågar orsakade av orena hålrum under förstoftningsprocessen, är det nödvändigt att periodiskt avlägsna det förstoftade materialet som ackumulerats i mitten och på båda sidor av förstoftningsspåret. Detta hjälper också användare att kontinuerligt arbeta med hög effekttäthet. Utför sputtering.
2. Mållagring
Vi rekommenderar att användare lagrar mål (oavsett om de är metall eller keramik) i vakuumförpackningar. I synnerhet måste lamineringsmålen förvaras under vakuum för att förhindra att oxidation av lamineringsskiktet påverkar lamineringskvaliteten. När det gäller förpackning av metallmål rekommenderar vi att de förpackas i minst rena plastpåsar.
Leverantör för 80 % volframförstoftningsmål
3. Målstädning
Det första steget är att rengöra med en mjuk, luddfri trasa indränkt i aceton;
Det andra steget liknar det första steget, använd alkohol för att rengöra;
Det tredje steget är att rengöra med avjoniserat vatten. Efter rengöring med avjoniserat vatten placerades målet i en ugn för att torka vid 100 grader Celsius i 30 minuter. Det rekommenderas att använda en "luddfri trasa" för rengöring av oxid- och keramiska mål.
Det fjärde steget är att spola målet med högtrycksargongas med låg luftfuktighet för att avlägsna alla orena partiklar som kan orsaka ljusbågsbildning i förstoftningssystemet.
4. Kortslutnings- och tätningsinspektion
Efter att målet är installerat måste hela katoden inspekteras för kortslutning och tätning. Det rekommenderas att använda en resistansmätare för att avgöra om det finns en kortslutning på katoden. Efter att ha bekräftat att det inte finns någon kortslutning i katoden kan du utföra en vattenläckagekontroll och föra in vatten i katoden för att avgöra om det finns vattenläckage.
Tillverkning av 80 % Tungsten Sputtering Target
5. Förpackning och transport
Alla mål är förpackade i vakuumförseglade plastpåsar med fuktsäkert medel. Den yttre förpackningen är i allmänhet en trälåda med ett anti-kollisionslager runt den för att skydda målet och stödplattan från skador under transport och lagring.
