Kemisk sammansättning: vanligtvis gjord av ren zirkonium (Zr) eller zirkoniumlegeringar (som zirkonium-hafniumlegering Zr-Hf-legering).
Strukturell form: Vanliga former inkluderar runda mål och rektangulära mål.
Måttnoggrannhet: kräver hög måttnoggrannhet och ytfinish.
Densitet: En hög densitet krävs för att säkerställa stabilitet och filmkvalitet under sputtering.
Ytkvalitet: Ytan ska vara slät, sprickfri, utan tydliga porer och föroreningar.
Zirkonium mål produktinformation bildskärm
zr metall sputtering mål
Zirkoniumförstoftning riktpris
